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利用可能研究設備詳細

設備名 複合ビーム加工観察装置 (日本電子・JIB-4500)
設備コード S-WK-TAT-TEC-03
カテゴリ 微細加工装置(EB, FIB他)
仕様 設備の特徴(何をする設備or何ができる設備):TEM用薄膜作製装置(FIB)です。材料系基盤へのビーム加工およびSEM観察も可能なDualビーム(Gaイオン、電子線)搭載機です。イオンビームによる加工状況をSEM画像で確認できるので、基板表面のダメージを最小限に抑えることができます。

仕様:表面の蒸着保護膜はカーボンのみ 
設備の所属 東京農工大学  工学府   
設備管理者
箕田弘喜
利用受付 相互利用   
備考 利用制限(サンプルの種類、操作上の制限など):
・基本的に材料系の試料しか使えません。生物系もしくは樹脂系の柔らかい試料加工はできません。 
公開範囲
国立大学法人・大学共同利用機関法人  
その他研究・教育機関  
公企業・私企業  
予算措置
設備ニュース 現在ニュースの登録はありません。

相互利用について

設備管理者の予約承認 全員必要
利用可能曜日 月火水木金土
上記の曜日で祝祭日であっても使えます。  
利用可能時間帯 09 時から  17時まで 
予約可能期間 31日後まで 
予約制限 しない(予約可能期間内に同一アカウントでいくつ予約を入れても良い)  
利用資格 利用資格が必要です。 
マシンタイム 1日 (9時を1日の開始時間とする) 
キャンセル料設定 なし(キャンセル料は取りません) 

利用料金

相互利用料金
焦束イオンビーム 箕田
統一料金 8300円 /1日 
 
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お問合せ先
自然科学研究機構分子科学研究所

〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
大学連携研究設備ネットワーク事務局
電話番号:0564-55-7490
Email:

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