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利用可能研究設備詳細

設備名 複合ビーム加工観察装置(日本電子・JIB-4500)
設備コード S-CB-NIT-LIC-09
カテゴリ 微細加工装置(EB, FIB他)
仕様 FIB部-イオン源:Ga液体イオン源、ビーム電流:0.5~30000 pA、SEM部:Lab6-フィラメント、像分解能:2.5 nm、特徴:SIM像とSEI像もしくはBEI像を同時に観察可能 
設備の所属 名古屋工業大学  大型設備基盤センター   
利用受付  
備考 ホームページ URL: http://irc.web.nitech.ac.jp
お問合わせ先 E-mail: kiki@adm.nitech.ac.jp 
公開範囲
国立大学法人・大学共同利用機関法人
その他研究・教育機関
公企業・私企業
予算措置
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利用料金

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お問合せ先
自然科学研究機構分子科学研究所

〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
大学連携研究設備ネットワーク事務局
電話番号:0564-55-7490
Email:

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