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利用可能研究設備詳細

設備名 走査型電子顕微鏡(S-3500N)
設備コード S-HD-HU-RIES-26
カテゴリ 走査型電子顕微鏡 (SEM/EPMA/EBSD(結晶方位解析))
仕様 試料表面を収束電子線で走査し、放射される電子線を使用することで試料表面の凹凸を画像化する装置。表面構造の解析に用いる。大型試料の観察が可能な試料室を有する。また、低真空モードで絶縁試料表面の観察にも用いることができる。
分解能:3.0nm
加速電圧:0.5-30kV
観察倍率:15倍-200,000倍
最大試料寸法:150mmΦ 
設備の所属 北海道大学  電子科学研究所   
利用受付  
備考 http://openfacility.cris.hokudai.ac.jp/apparatus_list 
公開範囲
国立大学法人・大学共同利用機関法人
その他研究・教育機関
公企業・私企業
予算措置
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利用料金

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お問合せ先
自然科学研究機構分子科学研究所

〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
大学連携研究設備ネットワーク事務局
電話番号:0564-55-7490
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