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利用可能研究設備詳細

設備名 集束イオンビーム加工観察装置(FB-2100)
設備コード S-HD-HU-RIES-16
カテゴリ 微細加工装置(EB, FIB他)
仕様 イオンビームにより試料の微細加工を行う装置。10-40kVの可変加速電圧により、粗加工、及び仕上げ加工の両方が可能になっている。
加速電圧 10kV?40kV(FB-2100)
30kV(FB-2000A,FB-2000)
イオン源 Ga
SIM分解能 6.0nm(FB-2100) 
設備の所属 北海道大学  電子科学研究所   
利用受付  
備考 http://openfacility.cris.hokudai.ac.jp/apparatus_list 
公開範囲
国立大学法人・大学共同利用機関法人
その他研究・教育機関
公企業・私企業
予算措置
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利用料金

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お問合せ先
自然科学研究機構分子科学研究所

〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
大学連携研究設備ネットワーク事務局
電話番号:0564-55-7490
Email:

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