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利用可能研究設備詳細

設備名 低真空環境対応高分解能走査電子顕微鏡 Quanta200特
設備コード S-CB-NAU-ENG-17
カテゴリ 走査型電子顕微鏡 (SEM/EPMA/EBSD(結晶方位解析))
仕様 2次電子像分解能:2nm,加速電圧:0.2~30kV,元素分析:EDX,電界放出電子銃,試料サイズ:最大8インチ径×80mm高さ,加熱ステージ(最高1000℃,試料サイズ最大5mm径),雰囲気ガス(200Pa)導入可能 
設備の所属 名古屋大学  大学院工学研究科   
利用受付  
備考 利用の際は,ナノテクプラットホーム事業を通して申請をして下さい,<http://nanoplat.nagoya-microscopy.jp/ > 
公開範囲
国立大学法人・大学共同利用機関法人
その他研究・教育機関
公企業・私企業 ×

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予算措置
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利用料金

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お問合せ先
自然科学研究機構分子科学研究所

〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
大学連携研究設備ネットワーク事務局
電話番号:0564-55-7490
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