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利用可能研究設備詳細

設備名 先進ナノプラズマ制御システム NUシステム(株)製 NPS-100
設備コード S-CB-NAU-ENG-07
カテゴリ 微細加工装置(EB, FIB他)
仕様 プラズマビームを材料表面に照射し,in-situ XPSによって評価することによって,表面-プラズマ間の反応の解析が可能。イオンおよびラジカルの入射フラックス比を変化させた表面状態の解析も可能。使用ガス:HBr,Ar,CF4,C4F8、Cl2,H2,N2,O2 
設備の所属 名古屋大学  大学院工学研究科   
利用受付  
備考 ※装置の予約はナノプラットフォームで行っています。下記よりお問い合わせください。
http://nanofab.engg.nagoya-u.ac.jp/index.html 
公開範囲
国立大学法人・大学共同利用機関法人
その他研究・教育機関
公企業・私企業
予算措置
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利用料金

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お問合せ先
自然科学研究機構分子科学研究所

〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
大学連携研究設備ネットワーク事務局
電話番号:0564-55-7490
Email:

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