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利用可能研究設備詳細

設備名 ECRイオンシャワー製膜エッチング装置(株式会社エリオニクス EIS-220)
設備コード S-HR-JST-NMT-8
カテゴリ 微細加工装置(EB, FIB他)
仕様 ・ECR型イオン銃2本(ターゲットスパッタ用/試料ステージアシスト用)
・イオン化ガス Ar, O2, N2
・加速電圧 20 - 2000 V
・イオンビーム有効径 20 mm (±5%)
・マイクロ波周波数 2.45 GHz
・マイクロ波最大出力 100 W
・ターゲットサイズ 4インチ
・試料サイズ 3インチ 
設備の所属 北陸先端科学技術大学院大学  ナノマテリアルテクノロジーセンター   
利用受付  
備考 ※装置の予約は別システムで行っています。 ご利用の際は、海老谷(ebitani@jaist.ac.jp)までご連絡ください。  
公開範囲
国立大学法人・大学共同利用機関法人
その他研究・教育機関
公企業・私企業
予算措置
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利用料金

利用料金は登録されていません。

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お問合せ先
自然科学研究機構分子科学研究所

〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
大学連携研究設備ネットワーク事務局
電話番号:0564-55-7490
Email:

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