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利用可能研究設備詳細

設備名 集束イオンビーム加工装置・FIB (SIIナノテク社製 SKI3050)
設備コード S-HR-JST-MAT-6
カテゴリ 微細加工装置(EB, FIB他)
仕様 ・試料サイズ 最大 50 mmφ、12 mm厚
・試料ステージ 5軸ユーセントリックチルトステージ
・加速電圧 5 - 30 kV
・2次電子分解能 4 nm@30 kV
・最大電流 20 nA
・最大電流密度 30 A/cm2 
設備の所属 北陸先端科学技術大学院大学  マテリアルサイエンス系   
利用受付  
備考 ※装置の予約は別システムで行っています。 ご利用の際は、海老谷(ebitani@jaist.ac.jp)までご連絡ください。  
公開範囲
国立大学法人・大学共同利用機関法人
その他研究・教育機関
公企業・私企業
予算措置
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利用料金

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お問合せ先
自然科学研究機構分子科学研究所

〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
大学連携研究設備ネットワーク事務局
電話番号:0564-55-7490
Email:

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