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利用可能研究設備詳細

設備名 電子線描画装置(ERA-8000FE)
設備コード S-HD-HU-IST-02
カテゴリ 微細加工装置(EB, FIB他)
仕様 試料表面に塗布したレジスト層を集束電子線で所望の形状に走査することで、超微小パターンを描画する装置 
設備の所属 北海道大学  情報科学研究科   
利用受付  
備考 http://openfacility.cris.hokudai.ac.jp/apparatus_list 
公開範囲
国立大学法人・大学共同利用機関法人
その他研究・教育機関
公企業・私企業
予算措置
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利用料金

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お問合せ先
自然科学研究機構分子科学研究所

〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
大学連携研究設備ネットワーク事務局
電話番号:0564-55-7490
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