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利用可能研究設備詳細

設備名 同位体顕微鏡システム(-)
設備コード S-HD-HU-FS-02
カテゴリ その他
仕様 物質表面のマイクロ領域の同位体や微量元素の濃度分布を可視化できる装置。
二次イオン質量分析法(SIMS)の原理を応用していますので,二次イオン質量分析装置としても使える。
超高真空下で試料表面を高速イオンによりスパッタリングし,スパッタイオンを磁場型の高分解能質量分析装置に導入し,質量分別後,スパッタ位置を再現し,高性能二次元荷電粒子半導体撮像素子SCAPSにより試料表面の拡大された同位体画像を得る。

【用途】
天然物質の同位体分析
半導体素子の微量元素分析

分析元素:HからUまでの濃度ppb以上の全元素
質量分解能:<100000
面分解能:?0.5ミクロン
深さ方向分解能:?10nm 
設備の所属 北海道大学  理学研究院   
利用受付  
備考 http://openfacility.cris.hokudai.ac.jp/apparatus_list 
公開範囲
国立大学法人・大学共同利用機関法人
その他研究・教育機関
公企業・私企業
予算措置
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利用料金

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お問合せ先
自然科学研究機構分子科学研究所

〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
大学連携研究設備ネットワーク事務局
電話番号:0564-55-7490
Email:

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