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利用可能研究設備詳細

設備名 低真空走査型電子顕微鏡(JSM-6360LA)
設備コード S-HD-HU-ICAT-07
カテゴリ 走査型電子顕微鏡 (SEM/EPMA/EBSD(結晶方位解析))
仕様 試料表面を収束電子線で走査し、放射する電子線を画像化する装置。表面構造の解析に用いる。低真空型で、低導電性試料表面の観察にも用いる。
二次電子分解能: 3.0nm(30kV,WD8mm)
倍率: 5?300,000倍
加速電圧: 0.3?30kV
試料ステージ: ユーセントリック形5軸(X,Y,Z,R,T)モータ駆動、CPU制御
最大試料サイズ: 8型(203.2mm)径装着可能
7型(177.8mm)径全面観察可能(R動使用)
試料移動範囲: X動:125mm,Y動:100mm,Z動:80mm,
R動:360°エンドレス、T動:-10゜?+90゜
試料高さ: 最大80mmまで装着可能 
設備の所属 北海道大学  触媒科学研究所   
利用受付  
備考 http://openfacility.cris.hokudai.ac.jp/apparatus_list 
公開範囲
国立大学法人・大学共同利用機関法人
その他研究・教育機関
公企業・私企業
予算措置
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利用料金

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お問合せ先
自然科学研究機構分子科学研究所

〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
大学連携研究設備ネットワーク事務局
電話番号:0564-55-7490
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